Virittynyt ydin siirtää 'ylimääräisen' energiansa suoraan lujimman sidoksen elektronilleen, mikä aiheuttaa ko. elektronin poistumisen atomista. Elektronin jättämä vapaa paikka täyttyy toisella elektronikuoren elektronilla ja atomi lähettää yhden tai useamman röntgensäteen tai Augerin elektronin.