Quand le microsystème comprend des parties mobiles, on emploie le terme de microsystème électromécanique.
Les microsystèmes ont été développés au début des années 1970 en tant que dérivés de la micro-électroniques et leur première commercialisation remonte aux années 1980 avec des capteurs de pression sur silicium qui remplacèrent rapidement les technologies plus anciennes. Une autre utilisation importante au début des microsytèmes a été les accéléromètres des airbag pour l'automobile.
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